超純水是美國科技界為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，這種水中除了水分子（H20）外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，一般不可直接飲用，對身體有害，會析出人體中很多離子。

超純水的概念

超純水處理是指下列雜質含量極低的水：

①無機電離雜質，如 Ca2+、Mg2+、Na+、K+、Fe2+、Fe3+、Mn2+、Al3+、HCO-、CO32-、SO42-、Cl2、NO3-、NO2-、SiO32-、PO43-等；

②有機物，如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等；

③顆粒，如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；

④微生物，如細菌、浮游生物和藻類等；

⑤溶解氣體，如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質的含量用水的電阻率數值來衡量。理論上，純水 中只有H離子和OH離子參加導電。在25℃時超純水的電阻率為 18.3（兆歐·厘米），一般約為15～18（兆歐·厘米）。

超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定，電子工業超純水中規定含量為50～200微克/升，并要求直徑大于1微米的顆粒性物質每1毫升內含量為1～2個，微生物每1毫升為0～10個。現代采用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等，使超純水的電阻率在25℃時達到18（兆歐·厘米）。

依各種原水水質和用戶要求的不同，超純水的制備工藝大體可分為預處理、脫鹽和精處理三步。

自然界中的水通常會含有多少量不等之不純物，此些不純物質包括溶存氣體物、固體物、及懸浮物等，因而不能直接飲用或作為工業用水，必須依使用的目的予以處理。工業用水所引起的障礙，可分類如下：

(1) 生物腐蝕及其它腐蝕  

(2) 污濁    

(3) 引起化學反應而污染  

使設施惡化方面： 

(1) 腐蝕  

(2) 侵蝕  

(3) 起凸凹  

減少效率方面：   

(1) 結垢

(2)污泥的形成

(3)有機物的形成

超純水被廣泛應用于各個行業：

1、太陽能光伏行業：單/多晶硅、硅片切割、太陽能電池、半導體硅材料等工藝用純水和超純水。

2、電子工業：半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線框架、集成電路、印刷電路板、液晶顯示器、觸摸屏、眼鏡鏡片、數碼相機鏡片、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝用超純水。  

3、生物醫藥工業：生物技術用水、醫藥生產用水、生化制品用水、針劑、粉針劑、藥劑、大輸液、醫用無菌水、口服液等符合GMP標準。

4、化工工業：化工工藝用水、化學試劑、化工生產用水、精細化工、化妝品、洗潔精、洗衣液、打印機墨水等生產工藝用純水。

5、常規工業：鍍膜玻璃、電鍍噴鍍、鋁氧化、真空鍍鍍膜、光學鍍膜、表面涂裝、紡織印染、汽車家電、蓄電池、工業配液、工業產品清洗等生產工藝用純水。

 6、飲料食品行業：礦泉水、果汁濃縮、天然水、礦泉水、啤酒生產用水、白酒勾兌用純水、食品加工、飲料生產、生活飲品等生產工藝用純水。

 7、飲用純凈水：賓館、集團企業、學校、機場、樓宇、社區優質供水設備、直飲水工程。

 8、軟化水、除鹽水設備：各種蒸汽鍋爐、火力發電廠、熱水爐、石化熱力鍋爐等補給水。

 9、電力工業：熱電廠、火電廠、鍋爐動力等領域用純水/超純水。